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普达特科技(00650.HK):成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备

(原标题:普达特科技(00650.HK):成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备)

格隆汇2月11日丨普达特科技(00650.HK)公布,公司已成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备。该设备广泛应用于28/14/7nm等先进制程的关键清洗工艺,市场目前主要由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备,经过前期测试验证,在技术性能方面均达到对标海外设备,且具备国内领先、国际一流的高温控制能力,可覆盖至190℃的高温硫酸清洗工艺。同时,该设备具备集成化与兼容性设计,并采用灵活的应用配置,可为客户提供更具综合竞争力的解决方案。

此外,公司近期已成功向4家客户交付5台单片晶圆清洗设备,包括:向一家12英寸晶圆代工厂客户,成功交付一台OCTOPUS设备,用于28nm制程的关键清洗道次;向一家12英寸高性能模拟与功率器件客户,成功交付一台OCTOPUS设备与一台CUBE设备等。上述成功交付的订单中,有两台设备订单为来自现有客户的重复订单。公司亦获得一台OCTOPUS设备重复订单,该设备即将进行交付。上述订单的收入均暂未确认。

未来,公司将继续致力於完成该等半导体清洗设备的订单交付与验收,并充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势,继续扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司设备的采用。

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